英飞凌正式对外官宣,已经在奥地利菲拉赫晶圆厂,在标准全尺寸产线里面把 12 英寸也就是 300 mm 的碳化硅晶圆加工出具备完整功能的功率器件,是全球第一家达成这项成果的厂商,同时配套验证了 12 英寸碳化硅衬底冷切割工艺,给碳化硅从现在主流的 8 英寸往大尺寸升级打通关键路径,也代表宽禁带半导体制造跳出小试、中试的限制,向着规模化、低成本量产迈进。之所以这个突破被行业看重,是因为大尺寸碳化硅最大难点不只是衬底本身,还要兼容成熟产线设备、控制良率、降低单片分摊成本,英飞凌选择复用现有硅基产线设备来完成加工,不用从头新建一套专属产线,大幅降低后续扩产门槛,而同期验证的冷切割技术,则用来减少晶锭切片时的材料损耗,进一步压低上游衬底成本。
本次两大核心技术成果清单
- 12 英寸碳化硅功能性功率器件:在标准晶圆厂完成全套工艺流片,产出可正常工作的 SiC 功率器件,不是单纯的衬底样品,将在慕尼黑 electronica 展会对外展出实物。
- 碳化硅衬底冷切割 Cold Split:由收购的 SILTECTRA 技术演化而来,在德国德累斯顿工厂完成验证;对比传统线切割,切割速度更快、材料损耗更少,能提升碳化硅晶锭的出片数量。
- 产线复用方案:依托成熟硅 300 mm 产线设备进行工艺改造,不需要全新定制设备,方便后续快速爬坡产能。
- 器件定位:沿用英飞凌 CoolSiC 沟槽栅技术,面向车载主逆变器、光伏储能、工业电源、AI 数据中心供电等高功率场景。
晶圆尺寸对比
| 晶圆尺寸 | 当前产业状态 | 核心优势 | 主要难点 |
|---|---|---|---|
| 6 英寸(150 mm) | 早期主力,逐步退出主流 | 工艺成熟,设备易得 | 单晶圆芯片数量少,单片成本高 |
| 8 英寸(200 mm) | 当前量产主力 | 产能、成本平衡,国内厂商主攻 | 衬底供货紧张,良率仍在优化 |
| 12 英寸(300 mm) | 英飞凌率先验证功能器件 | 单晶圆芯片数量大幅提升,摊薄制造成本 | 衬底制备难度极高,工艺适配门槛巨大 |
产业带来的影响
- 长期降本通道打开:同等工艺条件下,一片 12 英寸晶圆可以切出远多于 8 英寸的芯片,如果良率稳住,碳化硅器件单价会有明显下行空间,有利于新能源车、储能大规模普及。
- 宽禁带赛道竞争升级:氮化镓这边英飞凌已经在推进 12 英寸产线,现在碳化硅同步突破,巩固其在功率半导体的龙头位置;其他三代半厂商后续也会加速跟进大尺寸路线。
- 供应链变化:大尺寸衬底会成为接下来的争抢重点,衬底厂商的晶锭生长、切割能力会变成核心竞争指标。
- 落地节奏区分:目前只是工艺可行性验证,不是立刻大批量出货;正式量产爬坡还要经过可靠性认证、客户送样,距离大规模商用还有数年周期。
落地推进路线
现阶段优先完成工艺验证、可靠性摸底、客户样品测试;后续逐步把成熟的 CoolSiC 产品迁移到 12 英寸平台;同步推广冷切割技术,改善上游衬底供给;长期目标是和 8 英寸产线并行,根据成本、订单切换,最终逐步向大尺寸过渡。
【相关 FAQ】
问题 1:英飞凌这次落地的 12 英寸碳化硅功能器件,为什么被称作宽禁带制造里程碑?
回答 1:英飞凌是全球首家在标准全尺寸晶圆厂完成 12 英寸碳化硅功能器件加工的企业,证明大尺寸碳化硅可以复用成熟硅产线制造,打通碳化硅往更低成本、更大规模量产升级的关键一环,因此成为宽禁带制造里程碑。
问题 2:英飞凌配套验证的 12 英寸碳化硅冷切割技术,对比传统线切割好在哪里?
回答 2:英飞凌配套验证的碳化硅冷切割技术,切割耗时更短,同时减少碳化硅晶锭切片过程中的材料损耗,提升单根晶锭能够产出的衬底数量,帮助降低上游衬底成本。
问题 3:英飞凌 12 英寸碳化硅功能器件现在是不是已经可以大规模供货?
回答 3:英飞凌完成的是 12 英寸碳化硅功能器件工艺可行性验证,属于技术里程碑,暂时没有进入大规模量产阶段,后续还需要可靠性认证、送样,距离批量商用还有一段时间。
【参考资料】
[2026-11-11](全球首家!英飞凌 12 英寸碳化硅功能器件落地,宽禁带制造再迎里程碑)电子工程专辑
[2026-11-10](英飞凌展示业界首款基于 300 mm 碳化硅晶圆制造的功能性功率器件)电子工程世界
[2026-11-09](Infineon Marks Innovation Milestone With World’s First 300-millimeter Power Silicon Carbide Wafer)PRZOOM
[2026-11-09](12 英寸碳化硅提速:四项技术突破,三大新机遇)行家说三代半
【免责声明】
本文仅整理英飞凌官方发布与行业公开报道,英飞凌 12 英寸碳化硅功能器件良率、量产时间表、定价以及客户导入进度尚未最终确定;大尺寸碳化硅产业化还受衬底供给、工艺迭代、下游认证等多重因素制约,内容不构成设备、材料、个股投资建议。
