标签 > 我国新一代光刻机模型亮相 性能直追国际标杆

第九届进博会上，上海微电子 SMEE 展出 SSC800（KrF）、SSB800（I‑line）新一代前道干式扫描投影光刻机剖视模型；展出的是展示模型，对