标签 > 国产光刻机里程碑！上海微电子前道干式光刻机落地：流片破千万片

第九届进博会，上海微电子（SMEE）展出新一代前道干式扫描投影光刻机平台 SSC800、SSB800 模型，并对外披露产业化关键数据：机型已经定型