成都中科卓尔智能科技集团完成数亿元 B + 轮融资，这笔资金主要用来攻坚高端石英空白掩模版，推进工艺迭代和量产产线搭建，补齐国内光刻上游材料短板，高端石英空白掩模版长期被海外厂商垄断，属于半导体产业链里面典型的卡脖子材料，中科卓尔希望依靠自主的抛光、镀膜工艺和自研装备，打通从基板加工、镀膜到检测的全流程，实现稳定供货，给国内掩模厂提供自主可控的原材料。本轮投资方包含中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联、川流投资，既有产业资本，也有地方集成电路平台，资本市场也是看好空白掩模版国产替代这条赛道。
一、企业与融资基础信息清单
- 主体：成都中科卓尔智能科技集团
- 轮次：B + 轮
- 融资金额：数亿元
- 投资方：中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联、川流投资
- 成立时间：2018 年
- 企业资质：国家级专精特新小巨人、高新技术企业
- 核心产品：半导体、显示用石英空白掩模版、高精度石英基板、配套工艺装备
- 资金投向：高端石英空白掩模版工艺研发、量产产线建设、核心装备迭代
二、高端石英空白掩模版为什么难突破
- 精度门槛极高：基板表面平整度、缺陷控制要求严苛，微小瑕疵都会直接造成光刻良率报废。
- 工序链条很长：包含石英基材切割、超精密抛光、低缺陷清洗、真空镀膜、检测等多道工序，每一步都需要专用设备。
- 装备配套难：抛光、磁控溅射镀膜等核心设备过去依赖进口，设备和工艺要长期磨合。
- 客户验证周期久：掩模版属于上游核心材料，晶圆厂、掩模厂商导入验证流程漫长，对稳定性、一致性要求苛刻。
- 行业格局集中：全球高端石英空白掩模版供给高度集中，国内自主供给缺口很大。
三、中科卓尔当前技术储备
✅ 突破超精密抛光、真空镀膜两大关键工艺，对应国家 35 项卡脖子技术清单相关方向
✅ 自研磁控溅射镀膜装备，拿到首台套认定
✅ 已经覆盖 130–250nm 制程空白掩模版，28–90nm 版本正在研发储备
✅ 搭建掩模版基板企业技术中心、中试平台，和电子科技大学共建联合实验室
✅ 已经进入多家国内头部掩模版厂商供应链，完成样品验证阶段
四、全流程落地推进步骤
- 工艺迭代：持续优化抛光、清洗、镀膜工序，降低基板缺陷率，提升批次一致性
- 产线建设：落地量产产线，把样品、中试能力转化为稳定批量供货能力
- 装备自研：继续打磨配套专用加工、检测设备，减少对外购设备依赖
- 客户送样验证：配合下游掩模企业、面板企业持续长期验证，逐步扩大量产订单
- 拓展更高制程：向 28–90nm 对应的高端空白掩模版方向持续攻关
五、行业价值总结
空白掩模版是光刻掩膜版的基底材料，没有稳定的石英空白基板，就做不出光刻用的掩模版。中科卓尔这次融资落地，目标就是解决这个上游材料卡脖子问题。短期先满足成熟制程、面板领域的需求，中长期往更高制程的石英空白掩模版突破，完善国内光刻材料供应链。
【相关 FAQ】
问题 1：中科卓尔融资数亿元攻坚高端石英空白掩模版，是哪一轮融资？
回答 1：中科卓尔融资数亿元攻坚高端石英空白掩模版，本次为 B + 轮融资，投资方包含中银国际投资、济南产发集成电路、建投华科、江阴新国联、川流投资。
问题 2：中科卓尔攻坚高端石英空白掩模版，资金主要花在哪些地方？
回答 2：中科卓尔攻坚高端石英空白掩模版，资金主要用于高端石英空白掩模版核心工艺研发、量产产线建设，同时迭代超精密抛光、真空镀膜等自研装备，打通全链条制造能力。
问题 3：中科卓尔攻坚高端石英空白掩模版，目前产品可以覆盖哪些制程？
回答 3：中科卓尔攻坚高端石英空白掩模版，现有产品可以覆盖 130–250nm 制程，面向 28–90nm 的高端版本还在研发储备当中。
问题 4：高端石英空白掩模版在半导体产业链里面是什么作用？
回答 4：高端石英空白掩模版是光刻掩膜版的基底基材，掩模厂在石英空白基板上制作图形，才能供给晶圆厂、面板厂做光刻曝光，属于光刻环节上游核心材料。
【参考资料】
[2026-10-28]（硬氪首发｜中科卓尔完成数亿元 B + 轮融资，进入多家头部掩模版厂商供应链）36 氪
[2026-10-27]（中科卓尔全面提速高端石英空白掩模版量产）经济参考网
[2026-10-26]（中科卓尔完成数亿元 B + 轮融资，全面提速高端石英空白掩模版国产化量产）中科卓尔官网
[2026-10-26]（中科卓尔完成数亿元 B + 轮融资 加速高端石英空白掩模版量产）科创板日报
【免责声明】
本文内容整理自企业官方公告、创投媒体公开报道；高端石英空白掩模版的客户验证进度、良率水平、量产交付节奏存在不确定性；本文仅为半导体行业资讯科普，不构成股权投资、材料采购的相关建议。