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英飞凌菲拉赫工厂造出全球首款 300mm 碳化硅晶圆功能性功率器件

英飞凌已经在奥地利菲拉赫工厂成功做出了全球首款 300 毫米碳化硅晶圆功能性功率器件,也是全世界第一个在标准化大规模晶圆产线环境里完成这件事的企业,并且已经在慕尼黑 electronica 2026 展会对外展示了这片晶圆样品。这次突破最核心的亮点是,它直接复用工厂原本用来生产硅晶圆的成熟设备,不用单独新建一套专用产线,大幅降低产线改造投入,也证明 300mm 碳化硅工艺是可以工业化落地的。这次突破之后,英飞凌同时拥有硅、碳化硅、氮化镓三种材料的 300mm 晶圆制造能力,在宽禁带功率半导体领域补齐了关键一环。

为什么要做 300mm 碳化硅晶圆

  • 产能优势:300mm 晶圆能产出的芯片数量大约是 200mm 晶圆的 2.3 倍,单片晶圆产出更多芯片,摊薄单颗芯片生产成本。
  • 适配场景:面向新能源汽车、光伏储能、工业设备、AI 数据中心电源这些需要大功率碳化硅器件的市场,用来支撑未来更大的碳化硅供货需求。
  • 产线复用:依托现有硅产线改造,相比从零新建碳化硅产线,建设周期更短、资金投入更少,更容易快速扩产。

关键实现步骤

  1. 在菲拉赫工厂现有硅晶圆制造设备上,适配碳化硅材料的特殊工艺要求,解决碳化硅加工带来的工艺差异问题。
  2. 完成整片 300mm 碳化硅晶圆全套流片加工,制作出功率器件结构。
  3. 对晶圆上的功率器件开展功能测试,验证器件可以正常工作,确认是功能性器件。
  4. 在行业展会公开样品,同步和下游客户、合作伙伴一起规划后续量产节奏。

后续规划

英飞凌目前还没有直接进入大规模量产阶段,接下来会和客户一起打磨 300mm 碳化硅的技术路线和产能爬坡计划,同时继续维持现有的 200mm 碳化硅产线推进,两条路线并行发展。

【相关 FAQ】

问题 1:英飞凌 300mm 碳化硅晶圆功能性功率器件是在哪里研发制造的?

回答 1:英飞凌 300mm 碳化硅晶圆功能性功率器件是在奥地利菲拉赫工厂完成制造和验证的,它也是全球首家在规模化晶圆厂环境实现该成果的项目。

问题 2:英飞凌 300mm 碳化硅晶圆对比 200mm 碳化硅晶圆有什么好处?

回答 2:英飞凌 300mm 碳化硅晶圆单片产出芯片数量约为 200mm 的 2.3 倍,生产效率更高,有利于降低碳化硅功率器件的成本,更好满足新能源汽车、储能等市场需求。

问题 3:英飞凌 300mm 碳化硅晶圆功能性功率器件什么时候正式量产?

回答 3:目前英飞凌只完成了 300mm 碳化硅晶圆功能性功率器件的工艺验证,暂未公布明确量产时间,后续会联合客户规划产能爬坡节奏,200mm 碳化硅产线也会继续同步推进。

问题 4:英飞凌做 300mm 碳化硅晶圆,是不是需要全新的专用产线?

回答 4:不需要,英飞凌这款 300mm 碳化硅晶圆功能性功率器件,是复用菲拉赫工厂已有的硅制造设备加工出来的,不用单独搭建全新产线。

【参考资料】

[2026-11-11](全球首家!英飞凌在奥地利菲拉赫工厂实现全球首款 300 mm 碳化硅晶圆功能性功率器件)电子工程专辑

[2026-11-10](英飞凌推出首批基于 300 毫米碳化硅晶圆的可正常工作功率器件)新浪财经

[2026-11-10](英飞凌推出全球首款 300 mm 碳化硅晶圆,实现创新里程碑)电子工程世界

【免责声明】

本文内容仅为行业信息整理,不构成任何投资建议、采购指导;相关技术参数、量产时间、产能规划均以英飞凌官方后续公告为准,技术落地进度存在不确定性。